Physik Instrumente (PI) 精密位移台 P-363系列 - P-363.2CD
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Physik Instrumente (PI) 精密位移台 P-363系列 - P-363.2CD

型号P-363.2CD
系列P-363
品牌Physik Instrumente (PI)
技术参数
主动轴:X、Y,集成传感器:电容式,-250至+250伏时X、Y向上的开环行程:±3微米,-250至+250伏时Z向上的开环行程:-微米,X、Y向上的闭环行程:±2.5微米,Z向上的闭环行程:-微米,分辨率、开环:0.03纳米,分辨率、闭环:0.1纳米,线性误差:0.05%,重复精度:1纳米,X、Y向上的螺距/偏转角:0.5微弧度,Z向运动时的倾斜:-微弧度,X、Y向上的直线度:3纳米,X、Y向上的平面度:<10纳米,X、Y向上的串扰(Z向运动):-纳米,X、Y向上的空载谐振频率:4.2千赫兹,Z向上的空载谐振频率:-千赫兹,带负载时X、Y向上的谐振频率:2.1(20克)千赫兹,负载容量:10牛
创建日期2023年07月26日
更新日期2024年11月21日


Physik Instrumente (PI) - P-363.2CD - P-363系列 - 光电设备


主动轴:X、Y,集成传感器:电容式,-250至+250伏时X、Y向上的开环行程:±3微米,-250至+250伏时Z向上的开环行程:-微米,X、Y向上的闭环行程:±2.5微米,Z向上的闭环行程:-微米,分辨率、开环:0.03纳米,分辨率、闭环:0.1纳米,线性误差:0.05%,重复精度:1纳米,X、Y向上的螺距/偏转角:0.5微弧度,Z向运动时的倾斜:-微弧度,X、Y向上的直线度:3纳米,X、Y向上的平面度:<10纳米,X、Y向上的串扰(Z向运动):-纳米,X、Y向上的空载谐振频率:4.2千赫兹,Z向上的空载谐振频率:-千赫兹,带负载时X、Y向上的谐振频率:2.1(20克)千赫兹,负载容量:10牛


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