Physik Instrumente (PI) - P-528.TCD - P-528系列 - 光电设备

主动轴：Z、θX、θY，集成传感器：电容式，-20至120伏时Z向上的开环行程：240微米，θX、θY向上-20至120伏时的开环偏摆角：±1.2毫弧度，Z向上的闭环行程：200微米，θX、θY向上的闭环偏摆角：±1毫弧度，Z向上的开环分辨率：0.6纳米，θX、θY向上的开环分辨率：0.06微弧度，Z向上的闭环分辨率：1纳米，θX、θY向上的闭环分辨率：0.1微弧度，θX、θY向上的线性误差：0.03%，Z向上的重复精度：±10纳米，θX、θY向上的重复精度：±0.1微弧度，θZ向上的串扰（Z向运动）：<20微弧度，θX、θY向上的串扰（Z向运动）：<100微弧度

激光技术是光电应用的重要应用之一，具有高度定向、高能量密度和高单色性等特点。光电应用在医学成像中进行辅助准确诊断和治疗。光电应用在材料加工中，例如激光切割、激光焊接等应用，实现了精密加工和高效生产。光电应用在能源管理中，例如光伏电池、智能照明等应用，实现了能源的高效利用和节约。光电应用在航空航天领域中，例如导航系统、空间通信等应用，支持着航空航天技术的发展。