Physik Instrumente (PI) - P-541.TCD - P-541系列 - 光电设备

主动轴：Z、θX、θY，集成传感器：电容式，-20至120伏时Z向上的开环行程：150微米，θX、θY向上-20至120伏时的开环偏摆角：±0.6毫弧度，Z向上的闭环行程：100微米，θX、θY向上的闭环偏摆角：±0.4毫弧度，Z向上的分辨率、开环：0.2纳米，θX、θY向上的开环分辨率：0.02微弧度，Z向上的闭环分辨率：0.5纳米，θX、θY向上的闭环分辨率：0.08微弧度，Z、θX、θY向上的线性误差：0.03%，Z向上的重复精度：<2纳米，θX、θY向上的重复精度：0.01微弧度，θX、θY向上的串扰（Z向运动）：±15微弧度

光电应用在工业自动化中实现生产流程的自动化以提高生产效率和质量控制。光电应用在材料加工中，例如激光切割、激光焊接等应用，实现了精密加工和高效生产。光电应用在环境监测和保护中，例如光谱分析、大气污染监测等应用，提供了及时准确的数据。光电应用在能源管理中，例如光伏电池、智能照明等应用，实现了能源的高效利用和节约。光电应用在教育和科学研究中发挥着重要作用，为实验和研究提供了可靠的工具和方法。